切る技術 | 素材の切断加工

スライス加工

私たちは単結晶、多結品の2種類の材料でソーラー用シリコンウェハーを固定砥粒方式(ダイヤモンドワイヤー)で製造しています。保有設備は固定砥粒用に15台を有し 450万枚の設備能力があり今後近い将来には史なる顧客の数最アップのニーズにも対応出来るよう、固定砥粒用に更なる増設を予定しております。

この固定砥粒方式は新技術として世界中で知られてきております。今後カーフロスの低減 薄板化など近い将来、この新方式は、シリコンウェハー製造に必要不可欠な技術になると予測されます。

弊社は2008年にこの固定砥粒工法での量産加工に世界で初めて成功しました。
現在では固定砥粒方式での歩留りは、量産ベースで95%異常を達成し、400万枚/月以上のシリコンウェハーが製造されております。今後ますます需要は増える見込みで、引き続き品質、数量共に更なる向上を目指して参ります。

更に硬質材(SiC・サファイア等)のスライス加工の量産技術も構築し多種多様なユーザーのニーズに対応できるよう努めてまいります。

  • スライス加工を行ったウエハーを自動で検査する最先端機器
    ■固定砥粒用ワイヤーソー
  • ダイヤモンドワイヤーを使った超精密な切断加工
    ■固定砥粒用ワイヤーソー