保有設備

加工機

No. 設備名称 型式
1 片面研磨機 遊離砥粒
2 両面研磨機 固定砥粒 遊離砥粒
3 片面ポリシング機  
4 両面ポリシング機  
5 高速遠心バレル機  

両面ポリシング機(9B)

片面ポリシング機(24インチ)
No. 設備名称 型式
6 マルチワイヤーソー 遊離砥粒
7 マルチワイヤーソー 固定砥粒
8 バンドソー  
9 ブレードソー  
10 シングルワイヤーソー 固定砥粒
11 平面研削盤  

  マルチワイヤーソー
(軟材用 6インチサイズ迄2ステージ)

マルチワイヤーソー
(硬材用 8インチサイズ迄)
No. 設備名称 型式
12 丸目加工機  
13 ロータリー研削盤  
14 外周刃切断機  
15 端面研削盤  
16 円筒研削盤  
17 精密ダイサー  

測定機、その他

No. 設備名称 型式
1 ウェハー厚み・反り測定機 MX203
E+H社  
2 面粗度形状測定機 Surftest SV-600
Mitutoyo 接触式
3 面粗度測定機  
Mitutoyo/小坂研究所 接触式
4 レーザー干渉計 GPI-XP
ZYGO  
5 レーザー干渉計  
Fujinon  
No. 設備名称 型式
6 金属顕微鏡 オプチフォト-200
Nikon 倍率:1000倍
7 コンフォーカル顕微鏡 MX61-CF
オリンパス コンフォーカルタイプ
8 非接触厚み測定器 繰り返し精度
KEYENCE 0.1μ
9 非接触低効率/シート抵抗測定器 Model NC-10
ナプソン社
10 非接触P/N判定器 Model PN-50α
ナプソン社  
No. 設備名称 型式
11 投影機 V-12B
Nikon  
12 投影機 PJ-A3000
Mitutoyo  
13 レーザー顕微鏡 3D  
キーエンス  
14 面粗度計  
ミツトヨ  
15 投影機 V-12B
Nikon  
No. 設備名称 型式
16 投影機 PJ-A3000
Mitutoyo  
17 レーザー顕微鏡 3D  
キーエンス  
18 面粗度計  
ミツトヨ  
19 走査電子顕微鏡 S-3000N
株式会社 日立ハイテクノロジー  
20 真空蒸留再生装置  
No. 設備名称 型式
21 ウエハ用平面度測定機 FM-200
トロペル社  

  ウエハ用平面度測定機 FM-200