保有設備

No. 設備名称 型式 設備台数 備考
1 片面研磨機 48インチ 1台  
2 片面研磨機 32インチ 18台  
3 片面研磨機 24インチ 17台  
4 片面研磨機 18インチ 1台  
5 片面研磨機 15インチ 7台  
6 両面研磨機 18B 2台  
7 両面研磨機 17B 1台  
8 両面研磨機 16B 2台  
9 両面ポリシング機 12B 2台  
10 両面ポリシング機 9B 11台  
11 両面研磨機 9B 10台  
12 両面研磨機 5B 8台  
13 両面研磨機 4B 4台  
14 マルチワイヤーソー   20台 ソーラー用
15 マルチワイヤーソー   6台  
16 バンドソー   1台  
17 ブレードソー   6台  
18 平面研削盤   1台  
19 縦軸平面研削盤 1台  
20 高速遠心バレル機   3台  
21 丸目加工機   1台  
22 ロータリー研削盤   5台  
23 外周刃切断機   1台  
24 端面研削盤   2台  
25 外形加工機   1台 ソーラー用
26 円筒研削盤   1台  
27 精密ダイサー   1台  
No. 設備名称 型式 設備台数 備考
1 ウェハー厚み・反り測定機 MX203 1台  
E+H社  
2 面粗度形状測定機 Surftest SV-600 1台  
Mitutoyo 接触式
3 面粗度測定機   7台  
Mitutoyo/小坂研究所 接触式
4 レーザー干渉計 GPI-XP 1台  
ZYGO  
5 レーザー干渉計   2台  
Fujinon  
6 金属顕微鏡 オプチフォト-200 2台  
Nikon 倍率:1000倍
7 コンフォーカル顕微鏡 MX61-CF 1台  
オリンパス コンフォーカルタイプ
8 非接触厚み測定器 繰り返し精度 2台  
KEYENCE 0.1μ
9 非接触低効率/シート抵抗測定器

Model NC-10

2台  
ナプソン社
10 非接触P/N判定器 Model PN-50α 1台  
ナプソン社  
11 投影機 V-12B 1台  
Nikon  
12 投影機 PJ-A3000 2台  
Mitutoyo  
13 自動ウエハー検査装置   4台 ソーラー用
安永  
14 レーザー顕微鏡 3D   2台  
キーエンス  
15 面粗度計   3台  
ミツトヨ  
16 走査電子顕微鏡 S-3000N 1台  
株式会社 日立ハイテクノロジー  
No. 設備名称 型式 設備台数 備考
1 真空蒸留再生装置   2台  
2 発泡ポリウレタン包装システム インスタパック900 1台